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蓝膜晶圆,晶圆
通常,蓝膜(也称为UV胶带或光敏胶带)被用于在晶圆切割(或称为晶圆锯切)过程中保护晶圆表面,防止划伤或损坏。移除晶圆的过程通常涉及以下几个步骤:
曝光:利用紫外线照射蓝膜,使其部分固化,以便于胶带的去除。
加热:将晶圆加热到特定温度,以减少胶带的粘性,有助于胶带的移除过程。
剥离:使用专门的设备或工具缓慢且均匀地将蓝膜从晶圆表面剥离,以防损坏晶圆。
这个过程需要非常精细和谨慎地操作,以确保晶圆的完整性和避免任何潜在的损害。具体的操作参数(如紫外线照射时间、加热温度等)和剥离技术可能会根据晶圆的材料、蓝膜的类型以及具体的应用需求而有所不同。